UF5 điều chế nhờ phản ứng giữa urani(VI) fluoride với cacbon monoxit ở nhiệt độ cao.[1]

Các tác nhân khử khác đã được kiểm tra. 

Dạng α là một polyme phối hợp tuyến tính bao gồm chuỗi các urani với trung tâm cấu trúc bát diện, trong đó một trong 5 anion fluoride tạo thành một cầu nối với nguyên tử uranium tiếp theo.[2] Cấu trúc khá tương tự với hợp chất vanadi(V) fluoride. 

Ở dạng β, các trung tâm urani tạo thành một cấu trúc vuông. Dạng β dần dần chuyển đổi sang α ở 130 ℃.